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閉鎖機
FPS900M-SIW
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記述 FPS900Mは(FPS200Mおよび400Mから得られる)標準に増幅した特別な光学頭部とのpiezoアクチュエーターAPA 900Mを基づいている。FPS 900Mは密集した、低いジッターおよび高い打撃シャッター解決である。 利用できる選択 ひずみゲージ、真空を 状態 標準
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