XY軸ポジショニングステージ

圧電2軸コンパクト

XY300M-SGステージには、各軸にひずみゲージ（SG）ポジショニングセンサ、PCBに組み込まれたSGコンディショナが含まれています。 軸ごとのXY300M-SGステージ変位は、-40°C～+65°Cの温度範囲で有効です。図は、以下のインターフェース制御文書に記載されていない金属カバーオプションを備えたXY300M-SGステージを示しています。