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XY軸ポジショニングステージ
XY200M
圧電
2軸
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特徴
方向
XY軸
タイプ
圧電
軸の数
2軸
ストローク
最少:
0 mm
(0 in)
最大:
200 mm
(7.874 in)
詳細
記述 圧電気の段階XY200MはAPA 200Mのアクチュエーターに基づき、高い剛さを所有している。適用はマスクの位置、原子力またはスキャンのトンネルを掘る顕微鏡を含んでいる。 利用できる選択 ひずみゲージを;渦電流センサー、真空 状態 標準
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