ドーピングレーザー システム SolarLase-G3SE

パワー

ウエハーサイズ：156-166mm 機能SEレーザードーピング プラットフォームターンテーブル、ガルボスキャナー アライメント用高精度カメラ SolarLase-G3SEは、7000WPH以上の高効率c-Si太陽電池製造のためのSEレーザードーピング装置です。熱的に安定な花崗岩の光学プレートに、それぞれ独立したビーム伝送路を持つ2台の532nmレーザーを搭載することが可能です。ビーム伝送路は、ビーム径の調整、レーザーパワーの調整、シャッターの制御を個別に行うことができ、フレキシブルに対応することができます。安定した光学性能と機械性能を実現するために、花崗岩製の光学プレートが不可欠です。SolarLase-G3SEはクラスIのレーザー安全システムです；また、工作物をきれいに保つために破片除去システムも装備しています。 次世代の高効率c-Siセルには、これまで以上に高精度なアライメントが要求されるため、SolarLase-G3SEは優れたウェーハアライメント能力を備えています。高倍率カメラによりウェーハのエッジやマークを高精度に検出し、レーザーで描かれたパターンを2つの工程間で正確に重ね合わせることが可能です。 また、SolarLase-G3SEのアプリケーションソフトウェアは、レシピの作成、編集、保存、読み込みが簡単にできるフレンドリーなユーザーインターフェースを備えており、ウェーハ処理の効率化を実現します。SolarLase-G3SEは、お客様のご要望やご計画をお伺いし、より最適な装置へとカスタマイズいたします。