SolarLase-G3PERCは、最大7500WPHの高スループットを誇るc-Si PERCおよびバイフェイシャルPERC用高効率太陽電池の全自動製造装置です。
PERCプロセスには、ナノ秒レーザとピコ秒レーザの2種類があります。ピコ秒レーザは、コールドプロセスであるため、IBCやHBCの太陽電池プロセスに適用することが可能です。
レーザー:532nm、ナノ秒レーザー、ピコ秒レーザー
ウエハサイズ:156-166mm
アプリケーションPERC
セル効率 1.0+% 向上
プラットフォームロータリーターンテーブル、ガルボスキャナー
アライメント用高精度カメラ
効率的なデブリの除去
SolarLase-G3PERCは、高効率のc-Si PERCセルを大量生産するための全自動ハイスループット生産ツールです。
SolarLase-G3PERCは、ターンテーブル上でウェーハをローディングステーションからアンローディングステーションに移動させる高効率アーキテクチャに基づく高スループットツールです。ターンテーブルの回転時間を除けば、レーザーは常にウェーハの加工に忙しく、レーザーエネルギーの高利用が装置の価値を最大化します。
SolarLase-G3PERCは、高解像度カメラと高速画像処理アルゴリズムを用いてウェーハエッジを正確に位置決めし、ガルボスキャナーでスキャンパターンを電子的に調整し、集光レーザービームで目的の位置にレーザーパターンを正確に「印刷」します。
御影石製のテーブルは、熱的に安定した光学的・機械的性能を持ち、24時間365日の厳しい生産環境に対応します。SolarLase-G3PERCは、クラスIのレーザー安全装置です。アプリケーションソフトウェアはレシピベースで、エンジニアによるセットアップとオペレーターによるレシピの実行の両方において使いやすくなっています。
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