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オールインワン設計、スマートな構造と形状スキャンヘッドとサンプルステージが一緒に設計され、強力な防振性能または自動 的に、正確なスキャン領域の位置決めを実現します。高精度で広範固のサンプル転送デバイスにより、サンプルの興裱深ぃ領域 をスキャンできます。さまざまなタイプのスキャナーが、楕度とスキャンサイズに関するさまざまな題客の要件を満たします。 チップチェックとサンプル用の光字観測システムポジシ3ニング。リアルタイムのサンプル領域の観察と位置付けのための000 観察システム。サ一ボモーターを使用して000オー卜フォーカスを実現します。電子システムはモジュール式であり、メンテナ ンスと開発が容易です。多くの動作モードと統合されて、さらなる開発のために電子機器を制街]します。