マルチガス分析器 ETG 4500 EIMS

監視用プロセス記録

マルチガスアナライザー ETG 4500 EIMSは、ETG初のEIMS技術を採用し、大気.環境中の微量のアンモニア（NH3）、塩化水素（HCL）、フッ化水素（HF）、酸、NOx、Cl2、アセトン、VOCなどを高精度（ppbレベル）モニターできる機器です。 コンパクトな設計、高感度、高速応答、異性体分離能力など、イオンモビリティースペクトロメトリー（IMS ）は、均一電場中のイオン相互作用に基づく強力な分子分析分光技術で、多くの産業、特に大気品質が重要な要素となる分野で正確かつ信頼性の高い測定を可能にします。この分析装置は、この技術の改良版を使用しています：Enhanced Ion Mobility Spectrometry（強化イオンモビリティ分光法）です。 旧IMSと比較した場合の優位性： 放射性物質を含まない MFCによる流量制御 圧力測定 スクラバーが不要 スペクトルセーブ 2dスペクトル モビリティースペクトル（タイムスペクトルではありません） VOCモニタリングの設置の可能性 応用編です： クリーンルームの空気汚染 半導体プロセス応用 電子産業 食品の品質管理 ガス臭応用 スクラバーのモニタリング