エキシマー式レーザー VYPER series

パルスガス紫外線

1～マルチkWのVYPERプラットフォームは、大量のディスプレイ生産に求められる非常に高いスループットを実現します。 キロワットUV出力が、高スループットの製品を可能にします。 比類のないエネルギー安定性が、高い歩留まりをお約束します。 VYPERのすべてのモデルは、長軸のLineBeamオプティクスと完全に統合できます。 世界最高レベルの強力なエキシマレーザから非常に高いパルスエネルギーと優れたエネルギー安定性を得られます。 VYPERは最大6本のレーザビーム出力を内部で結合します。