エキシマー式レーザー システム LineBeam

パルス固体紫外線

LineBeamシステムは、高い生産力で大きな下地パネルのLTPSバックプレーンを大量製造するための実現光学技術。 最大Gen 10.5のパネルサイズに対応した最大1500 mm長のラインビームプロファイルを提供します。 短長軸ビームの強度が均一で、スループットとビーム利用を最大化します。 優れたパルス安定性と高い被写界深度が、大きなプロセスウィンドウを実現します。 LINEBEAM - 主なパフォーマンス指標 LineBeamはビームがシルクハット形分布なので、すべて308 nmの短波長ながら、短長軸の両方で優れた均一性を実現します。