化学気相成長貯蔵マシン C30S

薄膜パリレン

ラボ試験や小片の工業生産に最適です。 多層構成へのアップグレードが可能な汎用性の高い装置 以下のような用途に最適です。 中小型コンポーネント（例：電子機器、医療機器など） 最大φ200mm（8インチ）までのウェハーに対応。 外形寸法（長さ×幅×高さ） - 2100×1370×2000mm 重量 - 350kg チャンバーサイズ - φ295 x 370 mm ツールサイズ - ∅ 260 x 320 mm 工具最大積載質量 - 100kg ダイマー負荷容量 - 150g ポンプ容量 - 40 m3/h 必要電源 - 3 x 400V + N + PE - 50 Hz 3 x 25A - 15kW パリレン加工可能 - タイプタイプ： C, D, N, F-VT4, F-af4 サーマルチャンバー - 温度範囲 - 20 - 30°C オプション - 全てのオプションに対応