ラボテスト、プロトタイプ、少量生産に最適です。
コンパクトで効率的な構成です。
最適です。
小型プリント基板およびセンサー(例:電子機器、医療用アプリケーションなど)
最大ø 150 mm (6インチ)までのウェハー
全体寸法(長さ×幅×高さ) - 1600×1300×1600mm
重量 - 200 kg
チャンバーサイズ - φ250 x 264 mm
ツールサイズ - ∅ 226 x 240 mm
工具最大積載質量 - 30kg
ダイマー負荷容量 - 90g
ポンプ容量 - 25 m3/h
必要電源 - 3 x 400V + N + PE - 50 Hz
3 x 25A - 15kW
パリレン処理可能 - タイプタイプ: C, D, N, F-VT4, F-af4
サーマルチャンバー - 温度範囲 - 20 - 30°C
オプション - 全てのオプションに対応
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