ALD貯蔵マシン C30H ALD

パリレン

実験室でのテストや小物部品の工業生産に最適 3D複雑形状部品に最適 Al2O3、TiO2のALD成膜が可能 リモートプラズマソース 4つの加熱プリカーサライン付きガスパネル（デフォルト）。 全体寸法 (L x W x H) - 2250 x 1160 x 1450mm 重量 - 350 kg チャンバーサイズ - ∅ 295 x 370 mm ツーリングサイズ - ∅ 260 x 320 mm 工具最大積載質量 - 100kg ダイマー負荷容量 - 150g ポンプ容量 - 40 m3/h 必要電源 - 3 x 400V + N + PE - 50 Hz 3 x 25A - 15kW 加温チャンバー - 温度範囲: 20 - 80°C 電源供給3 x 400V + PE - 50Hz 3 x 14A - 9kW リモートプラズマ ソース - 周波数：1.7 - 3MHz パワー: 3000W その場 RF 静電容量式 プラズマソース 標準装備 処理可能な 材料 - - パリレンC, D, N, F-VT4, F-af4 ALD: Al 2 O 3 , TiO プロセス 温度 - パリレン: 室温 ALD: 60 - 80°C