水溶液中の微粒子や超微粒子の除去に。
用途
UPDI水
酸と塩基
エッチングバス
溶剤
バルク薬品
めっき液
特長と利点
低抽出物により、比抵抗とTOC限界まで迅速にリンスダウン
高流量とスループットを実現
幅広いpH範囲での化学的適合性
すすぎ排水が18MΩ・cm以上、TOC3ppb未満になるまでパルスパワーフラッシュを行います。
孔径は0.02~0.45ミクロン
これらのフィルターは、ポリプロピレンシェルに封入されたEPSカートリッジで、プロセス流体への暴露を最小限に抑えます。サイズは長さ2~30インチです。
---