半導体用GASチューブおよび管状継手は高純度作業用です。CSEは、クラス10,000のクリーンルームで製造されたチューブおよび継手を電気研磨Raで提供することができます。
真空部品はフランジ付き真空アッセンブリーで、パイプの一端に固定フランジ、または一端に固定フランジ、パイプの他端に回転可能フランジ(CFフランジアッセンブリー上)で構成されています。この回転可能な真空フランジは、相手継手またはフランジのボルト穴の問題を回避します。突き合わせ溶接された管付属品はエルボ、減力剤、ティー、シール、クランプ、ホース、フランジ、管および付属品を含む 304 か 316L ステンレス鋼の管から成っています。
仕様による:
規格
KF (NW、ISO-KF)
ISO
CF(コンフラット)
表面仕上げ
酸洗
機械加工研磨
研磨
電解研磨
特徴
高強度
長寿命
漏れ防止
耐食性
用途
超高真空(UHV)、高真空(HV)システム、半導体産業、真空チャンバー、真空ポンプなど。
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