スパッタリング式貯蔵マシン

薄膜太陽光

Infinity IBDシステムは、高密度・低欠陥の薄膜を極めて高い精度と均一性で実現します。また、イオンエネルギーの独立制御が可能なため、フレーキングによる汚染が極めて少なく、正確な薄膜スペックを実現することができます。 バイアスターゲットスパッタモジュールは、薄膜界面の制御に優れ、イオン電流とエネルギーの独立した制御が可能で、低圧で動作します。これにより、ビームのオーバースピルによる汚染や散乱を排除し、表面損傷を防ぎ、厳密な応力制御を可能にし、高密度で欠陥のない薄膜を形成することができます。 BTSモジュールは、ターゲット全体のサイズを小さくすることができるターゲット使用率の向上により、所有コストを改善します。システム設計により、大型基板上でも回転することなく優れた均一性を実現します。このモジュールは、他のIBDプラットフォームと比較して、パルススパッタリングと高い成膜レートを提供します。 これらのユニークな機能と利点はすべて、デントンの長期的なパートナーシップとサービスへのコミットメントに支えられています。デントンのエキスパートが、お客様のニーズや仕様に合わせた信頼性の高い構成を提案し、高いシステム稼働率と容易なメンテナンスを実現します。 酸化バナジウムマイクロボロメータ 精密光学部品（レーザー、赤外線検出器） VCSEL反射防止膜 高効率太陽電池 磁気記録用スピンバルブ フォーカルプレーンアレイ サーマルイメージング レーザーバーファセット