イオン源 Endeavor RF

デントンの Endeavor RF イオンソースは、フィラメントなしで動作するように設計されており、単一の抽出グリッドを使用します。このRFイオンソースは、イオンビームの空間電荷を中和し、チャンバー内の空間電荷アークを除去するのに十分な量の電子を取り出すことができるので、ホットフィラメントや中空陰極などの補助電子中和器を必要としない。 の研究・製造。 光デバイス フォトニクス 磁気デバイス、マイクロエレクトロニクスデバイス 特定のエネルギー、化学反応性、電流密度および軌道を持つイオン種を生成および制御する能力により、イオンソースは精密な薄膜および表面を作成するための有効なツールとなっています。高密度化、光学透過率、臨界膜厚均一性、滑らかな界面、接着性の向上、垂直な側壁などは、薄膜蒸着中にイオンソースによって実現される、求められている材料特性の一部です。 デントンは、自社開発したCC-106イオンソースを提供しています。CC-106は、酸素またはアルゴンを使用したイオンアシスト蒸着およびプリクリーニングプロセス用に設計された広ビーム冷陰極DCソースです。 フィラメントフリーのEndeavor RFイオンソースは、現在新しいシステムで使用可能です。