濃度監視システム LambdaPro® OMS

エレクトロニクス産業用赤外線レーザー

Denton Vacuum社のLambdaPro® OMSは、稼働中の成膜を制御し、稼働から稼働への再現性を達成することにより、歩留まりを最大化することができます。LamdaPro OMSは、基板やウィットネスチップの反射や透過を利用して、成膜中の光学部品の特性をリアルタイムでモニターします。このように基板を直接、あるいはウィットネスチップを間接的にモニターすることで、希望の光学的厚みで成膜を終了させることができます。 ラムダプロ®光学モニタリングシステムは、お客様の仕様に合わせた高度な設定が可能であり、多層光学部品の生産収率を向上させることができます。このソリューションは、デントンのコンピュータ制御システムに完全に統合され、高い信号スキャンレートとアナログ-デジタル変換の両方を提供し、反射と透過の両方のモードで動作します。 反射防止膜と高反射率膜 レーザーファセット 光センサー・フィルター バンドパスフィルタ 赤外フィルター・コーティング ニュートラルデンシティフィルタ メタライゼーション ビームスプリッター ラムダプロ® OMSは、複数のフィルムスタックの光学的厚みと均一性に劇的な結果をもたらすと同時に、フィルムの化学量論とともに達成されたインデックスに対する鋭い洞察をリアルタイムで提供します。当社のOMSは物理的な厚みではなく光学的な厚みを測定するため、このソリューションは複雑な多層光学スタックに最適です。