自動化システム Versa

Denton Vacuum社独自のVersaクラスタープラットフォームは、大量生産用の自動フロントエンドオプションです。最大で2つのカセットロードロックと6つのコーティングチャンバーまたはモジュールで構成することができます。半導体グレードのロボットハンドラーが、ロードロックからモジュールに基板を移動させ、真空を破ることなく、異なる材料で多層コーティングを行います。 Versaは、200mmまたは300mmのプロセスモジュールで動作するように設計されています。DiscoveryスパッタモジュールやVoyager PE-CVDシステムと互換性があり、専用のスパッタエッチモジュールや専用の計測オプションが用意されています。また、専用のプリクリーンモジュールも基板調整とともに利用可能です。 Versaは、薄膜形成時の大量生産を可能にするため、デントンのProcessPro-HVソフトウェアで動作します。このソフトウェアでは、完全自動の材料スケジューラーとレシピマネージャを使用してモジュールをロードし、複数のチャンバーで正確かつ効率的にプロセスステップを実行します。ProcessPro-HVはSEMI E95に準拠しており、プロセス制御と分析のための包括的なデータロギングとチャート作成をツール内で行うことができるのが特徴です。 Versaは、より高いスループット要求に対応するため、生産効率の向上を実現します。また、メタルと酸化膜の両方の成膜に対応し、ロードプロセスを自動化することで、効率を最大限に高めることができます。マルチチャンバー構成により、真空状態を維持したまま一度に複数の層をコーティングすることができ、スパッタモジュール全体ではなく、カセットロードロックのみをベントすることで時間を節約することができます。