プラズマ表面処理装置 Bell Jar 35

真空

チャンバーは、プロセスガスを低圧で保持するプラズマチャンバーまたは真空チャンバーです。チャンバーは、圧力リザーバーとして設計されています。使用するプロセスガスによるエッチングの影響を受けにくい材料で作られており、多くの場合、ステンレス鋼が使用されています。プロセスによっては、高純度石英ガラス製の真空チャンバーが必要な場合もある。 チャンバー（受器）はステンレス製が標準です ベルジャー研究所では、プラズマチャンバーは高純度シリカガラスでできたベルになっている