真空チャンバーVC P700Dは、押し出しアルミニウムプロファイルをベースにしたユニークで柔軟なチャンバーシステムでできています。長さ3メートルのプロファイルは、希望する長さにカットされ、ボルトで固定された後壁とドアが装備されています。
このシステムには大きなメリットがあります:
最大3mのフレキシブルな長さ。3メートル
ドアと背面の壁を補うだけなので、非常に早い納品が可能です。
✓ ローコスト
✓ ローウェイト
アルミニウムの脱離が少ないため、高真空にも適しています。
アルマイト処理により、お好みの色に仕上げることができます。
優れた熱伝導性
半導体分野など、高度にクリーンなプロセスを可能にする。
✓ 簡単な操作
溶接が不要で、部品が簡単に取り付けられます。
既存のディビジョンバーに簡単に取り付けられる。
真空チャンバー仕様
内寸法
長さ:最大3000mmまで(標準:1000mm、1400mm)
内径:640 Ø
外径:700 Ø
フロントパネル(オプション):18 U (1 U = 44.45 mm)
ボリューム
約322〜450リットル
コネクション
2 x KF 16
2 x KF 40
2×ISO K 63
どの位置でもフランジを追加することが可能
ドア
サイトグラス付きヒンジドアー
Diener electronicは、真空チャンバーにおける先駆的なソリューションを提供するだけではありません:
表面処理用低圧プラズマ装置
表面処理用大気圧プラズマ装置
パリレン・コーティング・システム
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