VC M600²は、当社の新しいモジュラーチャンバーシステムをベースにしています。このシステムは、深さ500mmのアルミニウム製モジュールで構成されています。このため、チャンバーの長さは500mm単位で自由に設定することができます。
このシステムには大きなメリットがあります:
最大3mのフレキシブルな長さ。3メートル
ドアと背面の壁を補うだけなので、非常に早い納品が可能です。
✓ ローコスト
✓ ローウェイト
アルミニウムの脱離が少ないため、高真空にも適しています。
アルマイト処理により、お好みの色に仕上げることができます。
半導体分野など、高度にクリーンなプロセスを可能にする。
✓ 簡単な操作
溶接が不要で、部品が簡単に取り付けられます。
既存のディビジョンバーに簡単に取り付けられる。
真空チャンバー仕様
内寸法
長さ:1000mm(500mmステップのモジュラー式)
幅:600mm
高さ:600mm
ボリューム
約360リットル
コネクション
2 x KF 16
6 x KF 40
1×ISO K 63
1×ISO K 160
どの位置でもフランジを追加することが可能
ドア
サイトグラス付きヒンジドアー
Diener electronicは、真空チャンバーにおける先駆的なソリューションを提供するだけではありません:
表面処理用低圧プラズマ装置
表面処理用大気圧プラズマ装置
パリレン・コーティング・システム
幅広い用途に対応する完全な真空システムおよび装置
表面張力を測定するためのテストインク
プラズマ処理の成功を証明するプラズマインジケータ
プラズマジェネレーター
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