Diener electronicのプラズマ装置は、長い間、幅広い産業分野でその地位を確立してきました。低圧プラズマ装置Tetra 2800は、真空中の近代的で将来性のある低温プラズマ技術に信頼を置くことができます。このプラズマシステムのチャンバー容積は約2800リットルで、連続生産に十分なスペースを提供します。
低圧プラズマ処理は、基材表面の超微細な洗浄、接着力強化(活性化、エッチング)、薄膜のコーティングを制御するための実績ある技術である。プラズマは、真空チャンバー内で高周波電圧を印加することで発生します。その際、そこに導入されたプロセスガスはイオン化されます。
応用分野です:
有機残渣のVOCフリー洗浄
塗装、接着、ポッティング、...前の活性化
PTFE、フォトレジスト、酸化膜、...のエッチング
超疎水性・親水性コーティング
主な特徴
床置き型エンクロージャー
真空チャンバーステンレス製
チャンバー容積:約2800リットル
ガスを供給する:マスフローコントローラー(MFC)経由、3ガスチャンネル
ジェネレーターの周波数80kHz(0〜1000/3000W)、13.56MHz(0〜600/1000W)、2.45GHz(0〜1200W)
コントロールすることができます:フルPCコントロール(Windows 10 IoT)
圧力測定:ピラニ、容量マノメーター
Tetra 2800プラズマシステムは、主に以下の分野で使用されています:
分析、考古学、自動車、研究開発部門、半導体技術、小ロット生産、プラスチック技術、医療技術、マイクロシステム技術、センサー技術、滅菌、繊維製品技術
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