プラズマ表面処理装置 Femto

実験用自動真空

Diener electronicのプラズマシステムは、長い間、幅広い産業分野でその地位を確立してきました。低圧プラズマシステムFemtoでは、真空中で最新かつ将来性のある低温プラズマ技術を利用することができます。このプラズマシステムのチャンバー容積は2～3リットルで、実験室や少量生産に十分なスペースを提供します。 低圧プラズマ処理は、基材表面の超微細な洗浄、接着力強化（活性化、エッチング）、薄膜のコーティングを制御するための実績ある技術である。プラズマは、真空チャンバー内で高周波電圧を印加することで発生します。その際、そこに導入されたプロセスガスはイオン化されます。 応用分野です： 有機残渣のVOCフリー洗浄 塗装、接着、ポッティング、...前の活性化 PTFE、フォトレジスト、酸化膜、...のエッチング 超疎水性・親水性コーティング 主な特徴 テーブルトップ型または床置き型のエンクロージャー 真空チャンバーステンレス、アルミニウム、ホウケイ酸ガラスまたは石英ガラス チャンバー容量：2～3リットル ガスを供給する：ニードルバルブまたはマスフローコントローラー(MFC) ジェネレーターの周波数40kHz/0〜100W、100kHz/0〜500W、13.56MHz/0〜200W、2.45GHz/0〜300W 制御を行います：セミオートマチック、ロータリースイッチ、基本PC制御（Windows CE）、フルPC制御（Windows 10 IoT) 圧力測定：ピラニ、容量マノメーター フェムトプラズマシステムは、主に以下の分野で使用されています： 分析、考古学、自動車、研究開発部門、半導体技術、小ロット生産、プラスチック技術、医療技術、マイクロシステム技術、センサー技術、滅菌、繊維製品技術