プラズマ表面処理装置 Atto

真空自動実験用

Diener electronicのプラズマ装置は、長い間、幅広い産業分野でその地位を確立してきました。低圧プラズマ装置Attoは、真空中の最新かつ将来性のある低温プラズマ技術に信頼を置くことができます。このプラズマシステムの約10.5リットルのチャンバーは、実験室や少量生産のための十分なスペースを提供します。 低圧プラズマ処理は、基材表面の超微細な洗浄、接着力強化（活性化、エッチング）、薄膜のコーティングを制御するための実績ある技術である。プラズマは、真空チャンバー内で高周波電圧を印加することで発生します。その際、そこに導入されたプロセスガスはイオン化されます。 応用分野です： 有機残渣のVOCフリー洗浄 塗装、接着、ポッティング、...の前に活性化する。 主な特徴 テーブル筐体 真空チャンバーです：ホウケイ酸（HP）、ヒンジ式ドア チャンバー容量：約10.5リットル ガス供給：ニードルバルブまたはMFCによる2系統のガス供給 ジェネレーターの周波数40kHz/0〜200Wまたは13.56MHz/0〜300W コントロール手動、ロータリースイッチ、基本的なPC制御（Windows CE） Attoプラズマシステムは、主に以下の分野で使用されています： 分析、考古学、自動車、研究開発部門、半導体技術、小ロット生産、プラスチック技術、医療技術、マイクロシステム技術、センサー技術、滅菌、繊維製品技術