プラズマ表面処理装置 Tetra 150

実験用自動真空

Diener electronicのプラズマシステムは、長い間、幅広い産業分野でその地位を確立してきました。低圧プラズマ装置Tetra 150は、真空中の近代的で将来性のある低温プラズマ技術に信頼を置くことができます。このプラズマシステムのチャンバー容積は約150リットルで、連続生産/自動化に十分なスペースを提供します。 低圧プラズマ処理は、基材表面の超微細な洗浄、接着力強化（活性化、エッチング）、薄膜のコーティングを制御するための実績ある技術である。プラズマは、真空チャンバー内で高周波電圧を印加することで発生します。その際、そこに導入されたプロセスガスはイオン化されます。 応用分野です： 有機残渣のVOCフリー洗浄 塗装、接着、ポッティング、...の前の活性化 PTFE、フォトレジスト、酸化膜、...のエッチング 超疎水性・親水性コーティング 主な特徴 床置き型エンクロージャー 真空チャンバーステンレス製またはアルミニウム製 チャンバー容量：約150リットル ガスを供給する：マスフローコントローラー(MFC) ジェネレーターの周波数80 kHz（0 - 1000/3000 W）、13.56 MHz（0 - 300/600/1000 W）、2.45 GHz（0 - 1000 W） 制御することができます：基本PC制御（Windows CE）、フルPC制御（Windows 10 IoT） 圧力測定：ピラニ、容量マノメーター Tetra 150プラズマシステムは、主に以下の分野で使用されています： 分析、考古学、自動車、研究開発部門、半導体技術、小ロット生産、プラスチック技術、医療技術、マイクロシステム技術、センサー技術、滅菌、繊維製品技術