プラズマ表面処理装置 Tetra 320R

PCにより制御可能自動実験用

Diener electronicのプラズマ装置は、長い間、幅広い産業分野でその地位を確立してきました。低圧プラズマ装置Tretra 320Rは、真空中の近代的で将来性のあるコールドプラズマ技術に信頼を置くことができます。このプラズマシステムのチャンバー容積は約320リットルで、連続生産/自動化に十分なスペースを提供します。 低圧プラズマ処理は、基材表面の超微細な洗浄、接着力強化（活性化、エッチング）、薄膜のコーティングを制御するための実績ある技術である。プラズマは、真空チャンバー内で高周波電圧を印加することで発生します。その際、そこに導入されたプロセスガスはイオン化されます。 応用分野です： 有機残渣のVOCフリー洗浄 塗装、接着、ポッティング、...前の活性化 PTFE、フォトレジスト、酸化膜、...のエッチング 超疎水性・親水性コーティング 主な特徴 床置き型エンクロージャー 真空チャンバーです：アルミニウム チャンバー容量：約45リットル ガスを供給する：マスフローコントローラー(MFC) ジェネレーターの周波数80kHz（0〜100W）/（0〜3000）、100kHz（0〜500W）、13.56MHz（0〜300W）、2.45GHz（0〜850W） 制御することができます：基本PCコントロール（Windows CE）、フルPCコントロール（Windows 10 IoT) 圧力測定：ピラニ、容量マノメーター Tretra 320Rプラズマ装置は、主に以下の分野で使用されています： 分析、考古学、自動車、研究開発部門、半導体技術、少量生産、プラスチック技術、医療技術、マイクロシステム技術、センサー技術、滅菌、繊維製品技術