プラズマ表面処理装置 Atto

実験用

10.5 Lattre LOW-COST PLASMA LAB SYSTEM ATTO（手動、PC、PCCE制御）は、主に以下の用途を想定しています。 少量生産、分析（SEM、TEM）、医療工学、滅菌、研究開発部門、考古学、繊維技術、プラスチック技術 ハウジング 幅425mm、高さ275mm、奥行き450mm 幅525mm、高さ257mm、奥行き450mm 真空チャンバー ガラス製（ホウケイ酸ガラス） ∅ 211 mm, 長さ 300 mm 料金 製品キャリアアルミニウムパネル、ステンレススチール、ホウケイ酸ガラス チャンバー容量 約10.5リットル ガス供給 ニードルバルブによる2系統のガス供給 MFC ジェネレーター 40kHz/200W 13.56MHz/300W 真空ポンプ 容量：最小3 m3/h 部品保持具 1 x 製品キャリア 制御機器 マニュアル PCCEコントロール（Microsoft Windows CE） ロータリースイッチ