ナノプラズマシステムは、モジュラーシステムのように様々な形で組み合わせることができます。以下は、Nanoプラズマシステムと組み合わせた最も一般的なオプションの概要です。ナノプラズマシステムは、主に以下のような分野で使用されています。
分析、考古学、自動車、研究開発部門、半導体技術、少量生産、プラスチック技術、医療工学、マイクロシステム工学、感覚技術、滅菌、繊維技術
材料洗浄
プラズマテクノロジーは、あらゆる種類の汚染、あらゆる基材、あらゆる後処理に対応するソリューションを提供します。このプロセスでは、分子レベルの汚染物質も分解されます。
材料の活性化
塗装、接着、印刷、接合において、良好な濡れ性は接合部材の接着のための必須条件です。
エッチング材料
プラズマ技術では、異方性エッチングと等方性エッチングが可能である。等方性エッチングはケミカルエッチングで、異方性エッチングはフィジカルエッチングで行われる。
材料へのコーティング
低圧プラズマを用いると、部品に様々なコーティングを施すことができます。真空チャンバー内に気体や液体の出発物質を供給することにより行われる。
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