精密混合ガス製造用ユニット
特徴
最大±0.1 vol.%の混合ガス精度を実現。
最大4種類のガスを混合可能
目的の重量または最終圧力まで混合可能
ミキシング容器回収後の最終真空度< 1 mbar
ミキシングプロセス後のガスの適切な圧力容器への貯蔵
100barまでの貯蔵圧力
10インチカラータッチパネルによる操作
- オイルフリーコンプレッサー:5.7 m³/h、100 bar
- シリンダー回収用オイルフリー吸引ポンプ:3 m³/h、最終真空 < 1 mbar
- 混合容器回収用オイルフリー吸引ポンプ: 15 m³/h、最終真空 < 1 mbar
- 混合容器の容積: 100 l
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