生産工場からのキセノンの経済的回収のために
特徴・プロセス
お客様の試験室の排気
キセノン充填
チャンバー内でのテスト成功後、ガスは回収され、シリンダーに貯蔵される。
O2センサーによるガス品質の常時監視
ガス品質がお客様の仕様に適合している場合は回収したガスを再利用し、測定されたガス品質が要求基準を満たさなくなった場合は新しいガスを自動供給します。
- オイルフリーコンプレッサー: 3.2 m³/h、50 bar
- オイルフリー吸引ポンプ(ガス用):15 m³/h, < 0.1 mbar
- オイルフリー真空ポンプ(空気用):15 m³/時、< 0.1 mbar
- カラータッチパネルによる操作
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