生産工場からのキセノンの経済的回収のために
特徴・プロセス
お客様のテストチャンバーを退避させる
チャンバー内にキセノンを充填
チャンバー内でのテストが成功した後、ガスは回収され、シリンダーに保存される。
O2センサーによるガス品質の常時監視
ガス品質がお客様の仕様に適合している場合は、回収したガスを再利用し、測定したガス品質が要求基準を満たさなくなった場合は、新しいガスを自動的に供給することができます。
- オイルフリーのコンプレッサー。 3.2 m³/h, 50 bar
- オイルフリーの吸引ポンプ(ガス用):15 m³/h、<0.1 mbar
- オイルフリー真空ポンプ(空気用):15 m³/h、< 0.1 mbar
- カラータッチパネルによる操作
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