小型部品の真空試験(ガス処理なし)
チャンバー容積約50~500 lのこのモデルレンジは、ガスハンドリングを試験チャンバー外で行うことができる小型コンポーネントの試験に理想的なソリューションです。
大型コンポーネントの真空試験(ガスハンドリング付き/なし)
弊社では、チャンバー容積500 lから約20,000 lまでのこのモデルレンジのシステムを製造しています。大型コンポーネントの試験が必要な場合、あるいは試験チャンバー内での統合ガスハンドリングが必要な場合は、このモデルレンジを推奨します。この場合、試験体はチャンバー内でSF6で充填されます。試験体とチャンバー間の許容できない差圧を避けるため、試験体を徐々に排気・充填することも可能です。
エネルギー技術分野のユーザーにとっての利点
SF6を充填した制御システムコンポーネントを試験する場合、試験後もSF6が試験体に残留する可能性があります。このため、SF6試験法は、試験工程終了後に試験ガスを試験チャンバーから回収する必要がなく、GIS製造分野における既知のヘリウムリーク試験の興味深い代替方法となります。その結果、SF6試験法は試験ユニットあたりの処理時間が短くなります。
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