自動塗工機

感光性樹脂卓上型セラミック用

ディッピング＆プル法による薄膜作製に適した高精度装置です。ディッピング＆プル法は、ゾル-ゲル法（Sol-Gel法、略してSG法）による薄膜作製の一般的な方法の一つです。高品質のアクセサリーを使用し、引き抜き速度を正確に制御し、位置ずれのないコーティングを繰り返します。引上げ速度、引上げ高さ、サイクルコーティング時間、ディッピング時間、下降速度、ドエルタイムはすべてプログラムで正確に制御できます。ガラス、Si(100)、Si(111)、サファイア(Al2O3)、セラミック、樹脂などの一般的な基板に適しています。