ドーピングレーザー システム

プロセスコンパクト自動

レーザードーピングシステム - このレーザーシステムは、リンをドープした選択的拡散プロセスに使用することができ、オフラインまたはオンラインの生産モードをサポートします。 - コンパクトな空間レイアウトで、シンプルな構造、便利な試運転、標準化されたモジュール設計、高い互換性と交換性を特徴としています。 - 2レーザー、3レーザー、4レーザーなどの複数の生産モードを備え、低生産量から高生産量までをフルカバー - ホストとコネクションステーションで構成され、手動でのロード/アンロードとAGVによる自動ロード/アンロードを実現し、お客様の様々なロードの要求を満たします。 - AOI検出、シリコンウェーハ反転、シート抵抗検出などの機能をサポートします。 特徴 - F-T均質化ドーピング技術とレーザーパルス整形技術を採用し、正方形のスポットを形成します。 - 非破壊・高精度・高効率のレーザードーピングを実現し、PERC太陽電池の変換効率を向上させ、高効率太陽電池の第2の技術革新のきっかけとするために、お客様のニーズに応じてシステムをカスタマイズ可能。 - レーザーによる高精度なグラフィックにより、その後のスクリーン印刷との完璧な重ね刷り効果が得られる