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多チャンネルコンベヤー ウェハー用
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特徴
- 搬送物
- ウェハー用
- その他の特徴
- 多チャンネル
詳細
16トラックのコンベアをカスタマイズしてカセットの収納数を増やすことが可能
ウェーハイン/ウェーハアウトなどの生産モードをカスタマイズ可能
グラフィック精度検出、カセット識別、AOI検出、シリコンウェハ反転、シート抵抗検出などの機能を拡張可能
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