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多チャンネルコンベヤー
ウェハー用

多チャンネルコンベヤー - DR Laser - ウェハー用
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特徴

構造
多チャンネル
搬送物
ウェハー用

詳細

16トラックのコンベアをカスタマイズしてカセットの収納数を増やすことが可能 ウェーハイン/ウェーハアウトなどの生産モードをカスタマイズ可能 グラフィック精度検出、カセット識別、AOI検出、シリコンウェハ反転、シート抵抗検出などの機能を拡張可能

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