XYZ軸ポジショニングステージ

リニア圧電3軸

真空のための3-axis段階 DSMの顧客の1つが注文の三軸の位置方式を要求したときに、DSMは独立したX、YおよびZの段階を作成するためにflextensionalのpiezoアクチュエーターのたわみ基づかせていた設計にてこ入れした。 生じるXおよびYはそれぞれを提供する旅行の200ミクロンを上演し、Z軸に500ミクロンの打撃がある。 元の段階アセンブリは真空の両立性のために設計され、DSMのVFの線形piezoアンプのbenchtopモデルを与えられた。 段階システムの基本設計はより小さくかより大きい変位の機能に拡張可能である。 上記の元の、オープン・ループXYZシステムに交付できる後続がXおよびＹ軸のためにDSMの顧客クローズド・ループ機能を要求したように。 DSMは容量性調査を組み込み、独立サーボ機構を提供するのにSA-100線形サーボアンプを使用した。 24ビットアナログ入力は位置ターゲット信号を受け入れ、デジタル入力/出力は「範囲」およびデータ収集制動機に旗を提供する。