管状炉 TubeStar焼きなまし熱分解電動
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特徴
- 形状
- 管状
- 機能
- 焼きなまし, 熱分解
- 熱源
- 電動
- 雰囲気
- 真空, 制御空気下, 不活性ガス, 窒素, 水素
- その他の特徴
- 自動, コンパクト, プログラム可能, 横型, オーダーメイド, 実験用, 工業用, エレクトロニクス産業用, プリント基板用
- 温度
最大: 1,200 °C
(2,192 °F)最少: 0 °C
(32 °F)
詳細
TubeStar炉プラットフォームはコンパクトなバッチ式管状炉です。このプラットフォームは拡散、酸化、蒸着用途に特化し、プロセスエンジニアリングのニーズに対応するよう設計されています。TubeStarシリーズはモジュール式でフレキシブルです。実際、1本から4本の独立した管で構成することが可能で、管当たりの処理能力は50枚です。
プラスアルファのメリット
TubeStar炉プラットフォームは少量のウェーハ処理に優れているだけでなく、その柔軟性により大量バッチの処理にも適合します。TubeStar炉は、PV製造ラインのようなプロセス変更時の適格性確認において、その効率性を実証しています。
この管状炉の主な特徴のひとつは、高精度の熱処理と高度な調整の柔軟性にあります。これにより、幅広い応用が可能になります。
可能な用途
拡散
LPCVD
酸化
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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。