ルーツ真空ポンプ iXM

乾式一段ガス

EdwardsのiXM低エネルギーシリーズドライポンプは、稼働時間の増加、環境への影響の低減、および最も重要な用途のコスト上のメリットがあり、貴社に本当のプロセス改善をもたらします。 エネルギー効率の良いルーツメカニズムにより、入力電力を最大60%削減でき、環境への影響と所有コストを低減できます。 ガスバリア技術と熱設計の改善により、以前のシリーズの4倍の耐食性を実現 高度な粉体処理機能により、多層エッチングプロセスで最高の信頼性とポンプ寿命の延長を実現 CVDプロセスの電力消費量を削減 コンパクトで軽量な設計がまれにみる低ノイズと低振動と相まって、貴社により大きな汎用性をもたらします iXMシリーズは、耐食性の強化のためにXCEDEテクノロジーを使用できます。