極低温真空ポンプ F series

潤滑多段

統合を加速させて、システム運用を改善 エドワーズ CTI-Cryogenics On-Board真空ポンプは、統合を加速させ、システム運用を改善する、信頼性と性能の世界標準として知られています。 On-Boardクライオポンプは、完全に一体化されたコントロールとサポート周辺機器を備え、優れた安定性能を発揮することで、全体的なツール生産性と稼働時間を向上させます。 主な機能 再生間のクライオポンプ性能を拡張するFast Regen™機能 お使いのクライオポンプをネットワーク化することで同時再生機能を実現し、システム全体の再生を高速化 内蔵マイクロプロセッサ制御による性能強化、通信機能および診断ルーチンの実行 高度なソフトウェアと使いやすいグラフィカルユーザインターフェイスにより、性能と動作が大幅に向上