課題に対処するための設計
Edwards Polycold® PFC水蒸気クライオチラーは、通常、高真空システムのガス負荷の65~95%を占める水蒸気を効果的に捕捉します。
始動から数分以内に蒸気を排出し、4分未満で霜取りを行うことで、処理中の水蒸気分圧を下げて、高品質、優れた接着性、再現性のある凝結を実現します。
お使いの真空システムにPFCクライオチラーを追加することで、ポンプダウン時間を25~75%短縮し、処理能力を20~100%向上させることができます。さらに、PFCクライオチラーは、液体窒素冷却のマイスナーと比べて優れたコストパフォーマンス比を実現し、通常、1年足らずで投資回収が可能です。
主な機能
シンプルなチューブタイプの冷却エレメント
速度200,000 l/秒、真空レベル最大2 x 10~12 Torrによる真空システム内の水蒸気の極低温凝縮(モデルと用途により異なります)
国際的な基準に準拠しており、毒性も可燃性もないグリーン冷媒注入
特許取得済みの極低温冷凍プロセスと冷媒混合物
各種のクライオコイル構成が可能