手动插板阀
BGV 插板阀是波纹管密封型不锈钢插板阀,适用于要求高密封性和要求真空系统中的碳氢化合物含量尽量低的应用场合。尽管 BGV 插板阀主要设计用于隔离半导体晶圆厂地下室内的泵,但也非常适合打开时需要 1 bar 压差的其他应用场合。
它们设计用于 1.2 bar 绝对压力至 1 x 10‑8 mbar(1.2 x 105 至 1x10‑6 Pa)的压力范围。BGV 插板阀在任何方向上均可承受 1.2 bar 的绝对压力,以使泵上方的真空管路在阀门关闭时排气。BGV 手动阀在组件侧面有一个显示插板位置的视觉标示,以显示它是否打开。
在任何方向上均可承受 1.2 bar 的绝对压力。在维护期间保持泵运行,从而避免重新启动问题。
不锈钢结构和坚固耐用的设计。
在恶劣环境中具有较长的使用寿命和出色的可靠性
气动电磁阀和预接线选件。
预配置的简单“即插即用”安装。
简单、无需润滑的密封机构。尽可能减少多尘工艺中的颗粒造成的损坏。