带 LOTO 安全功能的 BGV 不锈钢插板阀
BGV LOTO 气动插板阀包括标准 BGV 系列的所有优点,此外还具有 LOTO 安全功能,并且功率较低。
BGV LOTO 插板阀是波纹管密封型不锈钢插板阀,适用于要求高密封性和要求真空系统中的碳氢化合物含量尽量低的应用场合。尽管 BGV 阀主要设计用于隔离半导体晶圆厂地下室内的泵,但也非常适合打开时需要 1 bar 压差的其他应用场合。
出色的上锁挂牌 (LOTO) 安全机构使工作人员能够自由地在真空系统上工作,而不必担心阀门意外打开。使用一个销将阀门锁定在关闭位置,以防阀门被打开,确保使阀门保持关闭状态。如果需要将阀门锁定在关闭位置,可以通过 LOTO 销插入锁扣,并用挂锁锁住。
它们设计用于 1.2 bar 绝对压力至 1 x 10‑9 mbar(1.2 x 105 至 1x10‑7 Pa)的压力范围。BGV 阀在任何方向上均可承受 1.2 bar 的绝对压力,以使泵上方的真空管路在阀门关闭时排气。
功率驱动要求低至 1 W,可直接连接到 EDWARDS 的新一代干式泵系列,无需额外的外部电源,并且便于“即插即用”的简单安装。
簧片开关可供您的控制设备使用,以确定阀门是打开还是关闭。它们还包含 LED,提供阀门位置的视觉显示。每个阀门均配有 24V 直流电磁阀和预接线插头,用于直接连接到 EDWARDS 的新一代真空泵。这种 15 路“D”插座插头为向电磁阀供电和从簧片开关位置指示器发送信号提供单点连接