XY軸ポジショニングステージ EZ-0714

リニアモータ駆動2軸空気軸受

EZ-0714ガントリーステージは、高い精度が要求される位置決め作業用に設計されており、特に多目的に使用できます。オプションのベローズ付き装置により、このステージはレーザー加工プロセスだけでなく、パーティクルの多いプロセスにも適しています。軸のコプラナー配置とガントリー設計により、非常に高い繰り返し精度と位置決め精度を保証します。すべてのエアベアリングは磁気的に予圧されています。ケーブルマネジメントは、機械的干渉を最小限に抑えるように設計されています。鉄芯同期モーターにより、最大10 m/s2の加速度と最大1 m/sの移動速度が可能です。機械ベッドは花崗岩製。Z軸による延長が可能。XYステージは2サイズあり、移動範囲は500 x 500 mmまたは500 x 600 mmです。