XY軸ポジショニングステージ EZ-0715

電動式2軸精密

EZ-0715ガントリーステージは高精度アプリケーション用に設計されています。インクリメンタル測定システム（ハイデンハインLIP6 G0）と最適化された設計により、位置決め精度は±250 nm、繰り返し精度は単軸で±25 nmを実現しています。真空プレロードスライドと最適化された質量配分により、最小の設置スペースで高い剛性を実現。アイアンレスモーターにより、最大10 m/s2の加速度と最大1 m/sの移動速度が可能です。終端位置は誘導センサーにより検出されます。スライドには、左右対称に取り付けられたドラッグチェーンを介して個別にエネルギーが供給されます。ガントリーステージの機械ベッドは花崗岩製です。両軸ともカスタマイズが可能です。XYシステムは、Z軸および/またはC軸を含むように拡張することができます。