傾斜ポジショニングステージ EZ-0730

XY軸リニアモータ駆動2軸

インテリジェントな設計により、EZ-0730ステージは最高の剛性と優れた再現性を実現し、軸のクロストークを最小限に抑えます。 内蔵機能 高い加速度でもクロストークを最小限に抑えるインパルスデカップリング。 下部スライドにカーボンを使用することで重量を最適化。 熱膨張率が0に近いカーボン構造を採用し、有害な温度影響を最小化。 高度な加圧メンブレン技術による高精度チップ/チルト調整機能を備えたフラット11ゾーン真空クランプ装置内蔵による高剛性チャック。 斬新なドラッグチェーンコンセプトにより、エネルギーチェーンから発生する外乱力を最小化。 アイアンレスドライブと高精度スケール（ハイデンハインLIP6 G0）。 機械ベッドは花崗岩製。軸はお客様のご要望に応じてカスタマイズ可能。