XY軸ポジショニングステージ EZ-0745-ZC

Z軸回転リニアモータ駆動

エアベアリング式ZC軸EZ-0745は、XYステージ（EZ-0715など）への組み込みを想定しています。高度に統合された設計により、必要な全高は約138mmと低く抑えられています。回転角度は±3°に制限されています。1.5μradの高い繰り返し精度により、非常に精密な基板アライメントが可能です。Z軸は、2つのエアベアリングパッドにより回転に対して固定され、2つの対向するボイスコイルにより動的に駆動される。エアベアリングニューマチックシリンダーは、ウェイトデカップリングのために組み込まれています。Zストロークは、お客様独自の調整が可能です。