リニアポジショニングステージ EZ-4360 ZC

回転リニアモータ駆動2軸

ZCモーションシステムEZ-4360は、回転対称部品測定用の運動学として開発されました。測定対象物は回転テーブル上で位置決め・回転され、測定ヘッドは高精度のエアベアリング軸を介して垂直方向に移動します。リニア軸は、摩擦のないエアベアリングシリンダーを介し、最大7kgの重量を支えることができます。重要な特徴は、回転軸に対する直線軸の平行度を高精度に調整できることです。機械ベッドは花崗岩製です。花崗岩をエアスプリングで支えることで、地面との優れたデカップリングを実現しています。