リニアモータ駆動リニア軸 EZ-5504

精密コンパクト調整可能

EZ-5504フォーカス軸により、アイゼンベルガーは全く新しい革新的な軸コンセプトを実現しました。外形寸法は99 x 99 x 80 mm (L x W x H)とコンパクトで、光学部品用の中央連続開口部は約35 mmです。スリップ・スティック・フリーのエア・ベアリングにより、18 mmの全ストローク範囲にわたって最高の精度を実現し、ナノメートル領域での繰り返し精度を実現しています。極めて低い位置誤差に加え、軸の傾き誤差の低さは特に注目に値する。フォーカス軸は永久磁石式重量補正機構を備え、250g の可搬質量に対応するように設計されています。重量補正機構は、50～300g の質量に対して調整可能です。測定システムには、分解能 1 nm、BiSS-C インターフェースを備えたレニショーの測定ヘッドを使用しています。 アプリケーションこのフォーカス軸は、リソグラフィー、マスク露光、スキャニングアプリケーション、または一般的な光学部品やセンサーの位置決めなどの分野における高精度アプリケーションに適しています。コンパクトな寸法と低いシステム重量により、この軸は多くのアプリケーションに簡単に組み込むことができます。エアベアリングと使用される材料により、このフォーカス軸はクリーンルーム用途に適しています。