空気軸受円テーブル EZ-0779

電動式傾斜

高いアキシャル荷重容量と100nm以下のアキシャル/ラジアル誤差モーションを持つEZ-0779ロータリーテーブルは、もともとウェハープロセス用に開発されたもので、幅広いアプリケーションに適しています。ダイレクトドライブ回転テーブルは、強力な水冷トルクモーターを装備しています。オプションで、最大6つのエアー/真空チャンネルを備えたロータリーフィードスルーを組み込むことができます。18,000本ラインの測定システム（Numerik Jena RIK4）は、オプションで補間係数5、10、50、100のいずれかを選択できる。補間係数を低く設定すれば高速化が可能になり、高く設定すれば繰返し精度が向上する。設置位置に制限はありません。 用途ウェーハ研削、ウェーハ薄片化、テストシステム、同期や位置決め精度に高い要求があるアプリケーション