空気軸受円テーブル EZ-RP201 series

電動式傾斜

EZ-RP201 回転テーブルシリーズは、アキシャル誤差 30 nm 未満、ラジアル誤差 50 nm 未満で、同心度に対する最も高い要求を満たしています。特殊なH設計と最適化されたベアリングレイアウトにより、特に高いアキシャル荷重容量と剛性を実現しています。ステンレス製ターンテーブルは、フランジ付きモータまたはベルトプーリで駆動します。 用途精密旋盤加工、研磨、研削、ウェーハ研削分野のドライブ/ベアリングとして。