機械加工スピンドル EZ-8212

冷却修正用測定用

EZ-8212スピンドルは強力なトルクモーター（Tecnotion）を搭載し、最高回転数は5,000 rpmに達します。高速回転では、エアベアリングを冷却する必要があります。そのために、ローターには4つの冷却チャンネルがあり、外部のロータリーユニオンから供給することができます。冷却水の入口はスピンドルの後部に、出口はスピンドルの先端にあり、排出された冷却水は基板の冷却に使用できます。モーターは別の冷却回路で冷却され、どちらのポートもスピンドル後部にあります。気体媒体（真空または圧縮空気）用の2つのチャンネルは、統合されたロータリーユニオンを介してスピンドルノーズに供給されます。このスピンドルはウェーハ研削用に開発されました。ラビリンスシールにより、不潔な環境下でも動作に支障はありません。ラジアル方向とアキシャル方向の運動誤差は200 nm以下で、このスピンドルは幅広い高精度加工プロセスに適しています。スピンドルには、512本のインクリメンタル角度測定システム（ハイデンハインTTR ERM）が装備されています。取り付け位置に制限はありません。 用途ウェーハ加工、テストシステム、高い同芯度が要求されるアプリケーション。